टैंटलम लक्ष्यआमतौर पर डिस्क या आयताकार प्लेटों के रूप में आते हैं, लेकिन विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं के आधार पर इन्हें विभिन्न आकारों और आकारों में भी बनाया जा सकता है। इसकी मुख्य संरचनात्मक विशेषताओं में शामिल हैं:
उच्च शुद्धता: आमतौर पर 99.9% से अधिक, कभी-कभी 99.999% तक भी। उच्च शुद्धता सुनिश्चित करती है कि पतली फिल्म जमाव प्रक्रिया के दौरान कोई अवांछित अशुद्धियाँ पेश नहीं की जाती हैं।
एकरूपता: पतली फिल्म जमाव के दौरान समान सामग्री वितरण सुनिश्चित करने के लिए टैंटलम लक्ष्यों में एक समान माइक्रोस्ट्रक्चर होना चाहिए।
उच्च घनत्व: जमाव के दौरान स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए घनत्व एकरूपता महत्वपूर्ण है।